| 产品特性：热销 | 是否进口：否 | 产地：中国 |
| 加工定制：是 | 品牌：嘉仪通 | 型号：RTP-3-04 |
嘉仪通RTP4吋快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配***精度温度控制系统，可达到***的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
| 型号 | RTP-3-04系列快速退火炉 |
| 温度 | 1200℃ |
| 升温速率 | 150℃/s |
| 降温速度 | 1200℃→400℃: 裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min) 400℃→100℃: 裸片20℃/min(双石墨盘10℃/min)； （氮气吹扫） |
| 控温精度 | ±0.5℃(RT-1000℃) ±1℃(1000-1200℃) |
| 温场均匀性 | ≤1.5% 设定温度 ≤3% 设定温度 ≤5% 设定温度 |
| 腔体冷却 | 独立水冷 |
| 衬底冷却 | 氮气吹扫 |
| 气体流量 | 1～4路MFC控制 |
| 压力控制 | ~1bar，±100Pa |
| 样品尺寸 | 4英寸（直径100mm） |
